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MEMS微振鏡

所屬分類：MEMS微振鏡 閱讀次數(shù)：20905 發(fā)布時(shí)間：2024-10-16

一種用于雙軸光學(xué)掃描的高性能振鏡。采用MEMS技術(shù)在硅襯底上形成鏡面，通過(guò)電磁驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)水平掃描和垂直掃描。


應(yīng)用場(chǎng)景

  • 車載激光雷達(dá)

  • 車載HUD

  • 智能車燈

  • 微投影

  • 工業(yè)自動(dòng)化

  • 醫(yī)療OCT

產(chǎn)品技術(shù)特點(diǎn)

  • 水平：諧振式驅(qū)動(dòng)

  • 垂直：線性驅(qū)動(dòng)

  • 雙軸獨(dú)立驅(qū)動(dòng)，低串?dāng)_

  • 大視場(chǎng)角（FOV）

  • 體積小

  • 低功耗

  • 可靠性高，已通過(guò)內(nèi)部類車規(guī)級(jí)可靠性測(cè)試

  • 內(nèi)置角度和溫度傳感器

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