Semiconductor business
半導體業務
MEMS微振鏡
所屬分類：MEMS微振鏡 閱讀次數：6925 發布時間：2024-10-16
一種用于雙軸光學掃描的高性能振鏡。采用MEMS技術在硅襯底上形成鏡面，通過電磁驅動實現水平掃描和垂直掃描。
應用場景
車載激光雷達
車載HUD
智能車燈
微投影
工業自動化
醫療OCT
產品技術特點
水平：諧振式驅動
垂直：線性驅動
雙軸獨立驅動，低串擾
大視場角（FOV）
體積小
低功耗
可靠性高，已通過內部類車規級可靠性測試
內置角度和溫度傳感器
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